臭氧活性炭
活性炭能比较有效地去除小分子有机物，但是难以去除大分子有机物，而水中往往较大分子的有机物为多，所以活性炭的表面面积得不到充分的利用，势必加速饱和，缩短周期.由于臭氧可将水中的大分子转化为小分子，改变其分子结构形态，提供有机物进入较小孔隙的可能性；同时将大孔内与发表面的有机物得到氧化分解，减轻了活性炭的负担，使活性炭可以充分吸附未被教化的有机物。同时，预具项试化代替通常采用的预氯化，减少了预氯化过程产生的有机卤化物。臭氧活性炭技术是微污染水质深度处理的一种有效方法，能有效地去除被污染原水中的各种有机污染物，因此世界各国将此技术应用于做污染水源的饮用水处理工艺流程中，我国北京田村山水厂、燕山石化公司水厂等也采用该项技术，并取得较好的处理效果。
臭氧活性炭技术中的活性炭一般放在整个处理工艺的最后，臭氧的位置却十分灵活。例如巴黎一个水处理厂有三个臭氧投加点，首先是向原水中投加，日的是增加水中有机物的生物降解作用；然后在混凝前投加臭氧以提高混凝处理的效果；最后是在活性炭吸附前投加，以增强有机物的可吸附性。
目前，国内己有厂家在建筑给水深度处理中应用臭氧活性炭技术。